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          每日經濟新聞
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          大族激光:公司自主研發(fā)的光刻機項目分辨率為2-3 μm,主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用

          每日經濟新聞 2022-11-03 17:37:47

          每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:公司自主研發(fā)國產光刻機幾納米制程?

          大族激光(002008.SZ)11月3日在投資者互動平臺表示,公司自主研發(fā)的光刻機項目分辨率為2-3 μm,主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用。

          (記者 畢陸名)

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