每日經(jīng)濟新聞 2023-01-28 19:04:47
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請董秘介紹下KrF、ArF、EUV各類芯片半導(dǎo)體光刻膠新產(chǎn)品進(jìn)展。
上海新陽（300236.SZ）1月28日在投資者互動平臺表示，公司KrF光刻膠已批量化生產(chǎn)銷售，ArF類光刻膠樣品目前在國內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗證中，EUV光刻膠尚在開發(fā)階段。
(記者 王可然)
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