天準科技：天準參股公司矽行半導體專注于半導體前道晶圓的微觀缺陷檢測設備，尚未涉足半導體其它設備

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：了解到公司孫公司MueTec是在半導體宏觀檢測領域、參股聯營的的蘇州矽行在半導體檢測微觀領域企業，查詢公司網站公司產品在半導體領域包含掩模測量，請問貴公司或子公司等在半導體光刻領域有何技術儲備和建樹？謝謝

天準科技（688003.SH）9月12日在投資者互動平臺表示，天準子公司MueTec專注于半導體前道晶圓量測設備，主要產品包括套刻誤差量測設備、掩模版量測檢測設備、半導體晶圓紅外量測檢測設備等；天準參股公司矽行半導體專注于半導體前道晶圓的微觀缺陷檢測設備，尚未涉足半導體其它設備。

(記者 尹華祿)

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