每日經濟新聞 2023-09-19 14:15:41
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：老師，貴司曾回答貴司的光柵尺打破壟斷，在國內形成了不可替代，為什么蘇大維格的光柵尺精度小于1nm，貴司還在2.5nm呢？貴司不是第一嗎？
奧普光電（002338.SZ）9月19日在投資者互動平臺表示，據我們所知，目前世界范圍內封閉式絕對光柵尺的系統精度還在“μm/m"量級。比如德國海德漢的封閉式絕對光柵尺標稱精度是±3μm/m, 禹衡光學同類產品的批產精度為±3μm/m，最高精度可達±1μm/m。2.5nm指光柵尺的測量步距，也稱分辨率，而非精度。
(記者 蔡鼎)
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